在工業(yè)生產(chǎn)中，氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣、吹掃氣或載氣，其純度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與工藝安全。當(dāng)空分設(shè)備(ASU)或變壓吸附(PSA)/膜分離制氮機(jī)出現(xiàn)性能衰減時(shí)，若不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)，可能導(dǎo)致半導(dǎo)體氧化、食品變質(zhì)或鋰電池注液失敗等嚴(yán)重后果。氮?dú)饧兌葯z測(cè)儀正是實(shí)現(xiàn)快速診斷的關(guān)鍵工具。
制氮系統(tǒng)性能衰減通常表現(xiàn)為氮?dú)饧兌认陆怠a(chǎn)氣量減少或露點(diǎn)升高，其中純度變化最為敏感。例如，一臺(tái)標(biāo)稱99.999%(5N)的制氮機(jī)，若因碳分子篩老化、閥門泄漏或壓縮空氣含油超標(biāo)，純度可能悄然降至99.95%(3.5N)，肉眼無(wú)法察覺(jué)，但已超出工藝容忍范圍。
定點(diǎn)比對(duì)：在制氮機(jī)出口、儲(chǔ)罐入口及用氣終端同步測(cè)量，若出口純度正常而終端偏低，說(shuō)明管路泄漏或污染；若出口已下降，則問(wèn)題出在制氮單元。
趨勢(shì)監(jiān)測(cè)：連續(xù)記錄每日開(kāi)機(jī)后10分鐘的純度值，繪制趨勢(shì)圖。若純度呈緩慢下降(如每周降低0.01%)，提示分子篩壽命臨近終點(diǎn)。
響應(yīng)測(cè)試：人為調(diào)節(jié)制氮機(jī)負(fù)載，觀察純度波動(dòng)幅度。健康設(shè)備應(yīng)穩(wěn)定在±0.01%內(nèi)，若波動(dòng)劇烈，表明控制系統(tǒng)或吸附塔失效。
主流檢測(cè)儀采用熱導(dǎo)(TCD)或激光吸收光譜(TDLAS)技術(shù)，前者成本低、響應(yīng)快(<10秒)，適用于95%~99.999%范圍；后者精度達(dá)±1 ppm，適合電子級(jí)高純氮監(jiān)測(cè)。建議在關(guān)鍵用氣點(diǎn)安裝固定式檢測(cè)儀，并輔以便攜式設(shè)備進(jìn)行巡檢。
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